半导体行业核心零部件
所研制的质量流量控制器可对各种气体（含蒸汽）的质量流量进行精准测量或控制。为气体的测量与控制提供了高准确度和高准确性。独特的温度补偿、高精度、重复性佳、密封性好等特点，得到了客户普遍称赞，可从容应对各种工艺应用的挑战。质量流量控制器让高端制造变得更精准、更便捷。
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