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HCE系列
HCE系列高温质量流量控制器(MFC)是一款专为高温环境下气体流量精确控制设计的设备,广泛应用于半导体制造领域。
<p>HCE系列高温质量流量控制器(MFC)是一款专为高温环境下气体流量精确控制设计的设备,广泛应用于半导体制造领域。 <p>
● 高温环境适应;
● 高精度和快速响应;
● 多种气体兼容性,适应各种工艺气体的需求;
● 耐腐蚀设计;
● 提供数字化接口(如RS485或EtherCAT),便于与工艺设备集成
规格参数
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FSE系列
流量计
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