Product And Solutions

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产品与解决方案

HCE系列

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HCE系列高温质量流量控制器(MFC)是一款专为高温环境下气体流量精确控制设计的设备,广泛应用于半导体制造领域。

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    • 商品名称: HCE系列

    <p>HCE系列高温质量流量控制器(MFC)是一款专为高温环境下气体流量精确控制设计的设备,广泛应用于半导体制造领域。 <p>

    产品特点:

    ● 高温环境适应;

    ● 高精度和快速响应;

    ● 多种气体兼容性,适应各种工艺气体的需求;

    ● 耐腐蚀设计;

    ● 提供数字化接口(如RS485或EtherCAT),便于与工艺设备集成

    • 规格参数

      • 规格参数

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