SDCP
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SDCP为一种超快响应的压力式质量流量控制器,通 过将压力传感器,层流单元和阀控部件形成紧凑的结 构堆叠,达到压缩流道空间,减小空腔体积的目的, 进而大幅降低阶跃响应延迟,显著提升响应速度。
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