TPFC系列
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TPFC系列采用独特的音速/阻塞流原理，区别于传统热式 /压力式MFC, 专为高稳定性、高精度气体流量控制设计。具 备压力无关、超快响应、超高精度、多气体兼容、安装尺寸 极窄等核心优势，是半导体等先进制程中替代传统MFC的理 想方案，尤其适合对工艺稳定性、重复性要求严苛的场景。
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- 产品描述
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- 商品名称: TPFC系列
- 商品编号: TPFC系列
TPFC系列采用独特的音速/阻塞流原理，区别于传统热式 /压力式MFC, 专为高稳定性、高精度气体流量控制设计。具 备压力无关、超快响应、超高精度、多气体兼容、安装尺寸 极窄等核心优势，是半导体等先进制程中替代传统MFC的理 想方案，尤其适合对工艺稳定性、重复性要求严苛的场景。
TPFC系列采用独特的音速/阻塞流原理，区别于传统热式 /压力式MFC, 专为高稳定性、高精度气体流量控制设计。具 备压力无关、超快响应、超高精度、多气体兼容、安装尺寸 极窄等核心优势，是半导体等先进制程中替代传统MFC的理 想方案，尤其适合对工艺稳定性、重复性要求严苛的场景。
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