Product And Solutions

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产品与解决方案

FPMQ流量比例阀

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质量流量控制器是半导体制造设备的关键,其利用温度变化对应于质量流量的原理,可以对不同气体进行流量测量及控制。质量流量控制器的应用十分广泛,可应对毫升级至数百升级的气体流量控制范围的工况需求,且不受环境温度及压力变化的影响。

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    • 商品名称: FPMQ流量比例阀
    • 商品编号: 1445095465081786368

    <p>质量流量控制器是半导体制造设备的关键,其利用温度变化对应于质量流量的原理,可以对不同气体进行流量测量及控制。质量流量控制器的应用十分广泛,可应对毫升级至数百升级的气体流量控制范围的工况需求,且不受环境温度及压力变化的影响。</p>

    质量流量控制器是半导体制造设备的关键,其利用温度变化对应于质量流量的原理,可以对不同气体进行流量测量及控制。

    质量流量控制器的应用十分广泛,可应对毫升级至数百升级的气体流量控制范围的工况需求,且不受环境温度及压力变化的影响。

     

    产品特点

    响应快

    高精度

    压力不敏感

    量程宽泛

    密封性好

    温度不敏感

    可应对多种气体

     

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