FPMQ流量比例阀
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质量流量控制器是半导体制造设备的关键,其利用温度变化对应于质量流量的原理,可以对不同气体进行流量测量及控制。质量流量控制器的应用十分广泛,可应对毫升级至数百升级的气体流量控制范围的工况需求,且不受环境温度及压力变化的影响。
- 产品描述
- 参数
- 特点&优势
- 技术参数
- 应用案例
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- 商品名称: FPMQ流量比例阀
- 商品编号: 1445095465081786368
<p>质量流量控制器是半导体制造设备的关键,其利用温度变化对应于质量流量的原理,可以对不同气体进行流量测量及控制。质量流量控制器的应用十分广泛,可应对毫升级至数百升级的气体流量控制范围的工况需求,且不受环境温度及压力变化的影响。</p>
质量流量控制器是半导体制造设备的关键,其利用温度变化对应于质量流量的原理,可以对不同气体进行流量测量及控制。
质量流量控制器的应用十分广泛,可应对毫升级至数百升级的气体流量控制范围的工况需求,且不受环境温度及压力变化的影响。
产品特点
响应快
高精度
压力不敏感
量程宽泛
密封性好
温度不敏感
可应对多种气体
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规格参数
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这是产品描述
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这是产品描述
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