水蒸气控制模块FVC 300
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FVC 300水蒸气控制模块用于精确输送未稀释的 超高纯度去离子水蒸气。本产品采用节能高效设计 ,可以在较低温度条件下生成超高纯度的水蒸气。 FVC 300 内置 FELTON 高精度MFC, 并且集成了先 进的数字控制技术与完备的报警诊断功能。
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