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FELTON UPC系列产品为费尔顿技术(上海)有限公司开发 的晶圆背面压力控制器，集成了质量流量测量技术与压力控制技 术，可实现对设定压力的快速响应和稳定控制，同时可实现对冷 却气流的流量检测。

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    • 商品名称: UPC

    <p>FELTON UPC系列产品为费尔顿技术(上海)有限公司开发 的晶圆背面压力控制器，集成了质量流量测量技术与压力控制技 术，可实现对设定压力的快速响应和稳定控制，同时可实现对冷 却气流的流量检测。 <p>

    产品特点

    · 高精度压力检测：采用温度补偿算法，显著提升压力精度

    及一致性。

    · 高精度流量检测：内置流量传感器，实现冷却气体流量的精确监测，同时支持10点校准功 能，提高流量精度。

    · 便捷调参：支持上位机在线PID 调参功能，操作方便、工况适应性强。

    • 规格参数

      • 规格参数

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