FFV
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FFV是一种紧凑型流量校准仪，专为半导体制造设备的气体 供应系统设计，采用积聚法 (build-up method) 进行流量测量 。其主要组成部分包括气动阀 (AOV)、 压力传感器、温度传 感器、控制电路。
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