流量比例分配器FFD1000-Ⅲ
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流量比例分配器 (FFD) 内置多个MFC, 可以按照用户指定的比 例分别进行同时调节并分别控制流量，从而将混合气体按比例分配成 多路流至工艺室内的多个腔室或区域，以优化工艺均匀性和重复性。 工作原理：控制系统会测量和比较不同流体的流量，然后根据预 设的比率来调整各个阀门的开度。流量比率控制器主要应用在刻蚀、 去胶和PECVD 等各种流体分流应用中，用在工艺腔体中将气体或混合 气体按比率分配到不同区域。
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