直击SEMICON丨高凯技术以精密流体控制与真空技术赋能半导体智造
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发布时间：
2026-03-26
3月25日，全球半导体行业盛会——SEMICON China 2026在上海新国际博览中心盛大启幕。作为国内领先的精密流体控制及真空技术解决方案提供商，高凯技术携多款核心产品及先进封装设备亮相T3247展位，全面展示其在半导体核心零部件领域的创新实力与全产业链布局。
3月25日，全球半导体行业盛会——SEMICON China 2026在上海新国际博览中心盛大启幕。作为国内领先的精密流体控制及真空技术解决方案提供商，高凯技术携多款核心产品及先进封装设备亮相T3247展位，全面展示其在半导体核心零部件领域的创新实力与全产业链布局。
PART.01 核心聚焦：深耕精密流体控制，覆盖全工艺需求
高凯技术始终专注于精密流体控制与真空技术的自主研发与制造。本届SEMICON，公司在精密流体控制领域重磅展示了覆盖半导体工艺全流程的系列产品，精准匹配行业多元需求。
其中，MFC热式质量流量控制器、高温质量流量控制器、压力式质量流量控制器及双量程质量流量控制器等产品，凭借高精度、高稳定性及宽量程比等优势，能够精准满足刻蚀、沉积、扩散等关键工艺中对特殊气体、高温气体及复杂工况的严苛流量控制需求。
针对工艺气体分配的多元化场景，高凯技术同步展出了FRC流量比例分配器、液体流量计+汽化器组合方案，以及MFV流量校验仪、UPC背氦压力控制器和VDM水蒸气控制器。
其中，液体流量计与汽化器的集成方案，为前驱体等液态源的精确输运与稳定汽化提供了可靠保障；背氦压力控制器则专为晶圆冷却及泄漏检测等应用场景打造，进一步彰显了公司在核心测控领域的深厚积淀。
PART.02 实力加持：真空控制阀门， 筑牢设备核心支撑
在真空控制领域，高凯技术展出了品类丰富的阀门产品线，包括TV真空蝶阀、密封款蝶阀及创新的蝶阀-闸阀组合款。
这些产品作为工艺腔室压力控制与真空环境维持的关键执行单元，凭借快速响应、高可靠及长寿命等特性，为半导体设备的气路系统提供了坚实支撑。
PART.03 全新突破：布局先进封装， 延伸解决方案版图
本次展会现场，高凯技术重点展示其在先进封装领域的最新布局成果——coating封胶划胶设备及FC芯片底填设备样机。
这两款设备聚焦后道封装工艺中高精度的点胶、涂覆与填充环节，展现了公司从核心零部件向高端封装装备解决方案延伸的卓越能力，为chiplet、3D封装等先进封装技术提供了关键的工艺保障。
共探半导体产业未来新路径
以精密流体控制为核心，以自主创新为驱动，高凯技术正通过不断丰富的产品矩阵与系统级解决方案，助力半导体设备实现更高的工艺精度与运行效率。
诚邀您莅临T3247展位，共同探讨半导体核心零部件与先进封装技术的未来之路。
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