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半导体行业核心零部件
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半导体行业核心零部件

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半导体行业核心零部件

        所研制的质量流量控制器可对各种气体（含蒸汽）的质量流量进行精准测量或控制。为气体的测量与控制提供了高准确度和高准确性。独特的温度补偿、高精度、重复性佳、密封性好等特点，得到了客户普遍称赞，可从容应对各种工艺应用的挑战。质量流量控制器让高端制造变得更精准、更便捷。

点胶封装及周边设备
GCE系列
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GCE系列质量流量控制器，采用独特的热式传感器温度补偿技术，可有效应对不同环境温度的挑战。客户可选择±15V/±24V、RS485、模拟量通讯、VCR、双卡套接头等多种选配方式精准快速适应使用需求，有效降低客户设计复杂系统的难度和使用成本。
FCE系列
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FCE系列气体质量流量控制器，拥有RS485/Profib-us/DeviceNet/EtherCAT/模拟量等多样化的通讯方式，可为客户提供更加灵活的选择。FCE系列严格遵循SEMI相关标准，气体接触面粗糙度均达到Ra0.1，拥有更加卓越的耐腐蚀性能。
TCP系列
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TCP系列气体质量流量控制器，专为集成电路设计的高端产品，拥有更宽的流量比和设定精度。配置出色的低温漂特性，独特的PID 控制算法以及非线性气体换算函数，可在全量程范围内实现快速的响应，控制精度亦达到最佳，最大程度降低流量过程控制的误差。
FSE系列
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FSE系列热式质量流量控制器集成了压力传感器，可实现压力波动不敏感，增加了压力异常报警及响应时间可调功能，保证稳定的流量控制，适用于半导体等对流量控制稳定性要求较高的行业。
DCP系列
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DCP系列压力式MFC借助于压力传感器超高速的响应灵敏性，分设两颗测量层流元件两端的压差，可在宽泛的动态流量范围内实现了高灵敏度的流量测量。
HCE系列
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HCE系列高温质量流量控制器(MFC)是一款专为高温环境下气体流量精确控制设计的设备，广泛应用于半导体制造领域。
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江苏高凯精密流体技术股份有限公司

名称：江苏高凯精密流体技术股份有限公司

地址：江苏省常州市武进区常武中路18号高凯大厦

 

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