UPC

FELTON UPC系列产品为费尔顿技术(上海)有限公司开发的晶圆背面压力控制器，集成了质量流量测量技术与压力控制技术，可实现对设定压力的快速响应和稳定控制，同时可实现对冷却气流的流量检测。

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产品编号

所属分类

压力控制器

数量

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产品详情

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特点&优势

技术参数

应用案例

产品特点

· 高精度压力检测：采用温度补偿算法，显著提升压力精度

及一致性。

· 高精度流量检测：内置流量传感器，实现冷却气体流量的精确监测，同时支持10点校准功能，提高流量精度。

· 便捷调参：支持上位机在线PID 调参功能，操作方便、工况适应性强。

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无

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无

名称：江苏高凯精密流体技术股份有限公司

地址：江苏省常州市武进区常武中路18号高凯大厦

电话：0519-88858009
邮箱：sales@gk-precision.com

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