FELTON的高精度FMFV基于压力 定流量 (POR) 法，通 过测定压力上升 和温度T 而利用 的关系 (r为气体常数 )以测定流量Q。 通过采用音速喷嘴技术，消除了外部体积对验证精度的影响。 FMFV 以±0.5%读数的重复测量精度，能够用实际工艺气体验证MFC 流量，重复性精度显著优于传统的上升率设备或腔体上升率方法。