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真空蝶阀

真空蝶阀可提供出色的压力控制性能。凭借其快速 且精准的动作控制器，真空蝶阀成为半导体、平板显示 、光伏等工业制程中的理想真空压力控制解决方案。
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产品编号
所属分类
蝶阀
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产品详情
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特点&优势
技术参数
应用案例

 

规格参数
规格参数

● 优秀的压力控制精度

通过自学习功能与自适应控制算法的结合， 可快速准确的到达目标值压力。

● 双路自适应压力匹配技术

支持两路真空规信号输入，可根据工艺需求 自动选择不同量程或通过交叉模式使用真空 规输入值，提高压力值的准确度

● 位置精度准确度高

配备5000线光学增量编码器，位置分辨率 可高达12800(90°)

● 满足先进工艺的定制化应用需求

可根据客户工艺要求，定制不同类的法兰 型号、材料类型和特殊功能

 

●支持数字量输入和输出以及模拟量输出                ●支持时间斜坡和斜率斜坡功能

       可实时有效的控制和监控阀体的工作状态          可有效解决工艺过程中压力调节的过冲问题

 

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江苏高凯精密流体技术股份有限公司

名称：江苏高凯精密流体技术股份有限公司

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