质量流量控制器

质量流量控制器是半导体制造设备的关键，其利用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同气体进行流量测量及控制。质量流量控制器的应用十分广泛，可应对毫升级至数百升级的气体流量控制范围的工况需求，且不受环境温度及压力变化的影响。

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